Overview/Background

  • Motion과 Vision을 이용한 반도체용 Blade 검사 시스템

Description

  • 독립적인 하드웨어 제어 기능 제공
  • 5um 이상 측정 가능
  • Blade의 시작 부분을 검색하는 Search Mode 제공
  • 측정 이미지 및 데이터 저장(excel)
  • 별도의 Data Viewer 제공

Results

  • 다양한 Blade 모델 검사 가능
  • 정확한 측정 및 검사 시간 단축
  • Data Viewer를 통한 빠른 검사 결과 확인